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鉬及鉬合金

  • 鉬基片臺(tái)
鉬基片臺(tái)

鉬基片臺(tái)

  • 牌號(hào):Mo1,MoLa,Moly361
  • 純度:≥99.95%
  • 規(guī)格:根據(jù)客戶圖紙和具體要求加工定制
  • 標(biāo)準(zhǔn):GB/T 3876-2017,GB/T 4182-2017,ASTM B386-2003,ASTM B387-2010
  • 用途:MPCVD鉬基片臺(tái)是微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備中的核心組件,采用高純度鉬材料制造,具有2620°C的高熔點(diǎn)、優(yōu)異的熱導(dǎo)率和耐腐蝕性。必隆金屬支持定制化設(shè)計(jì),提供多種尺寸、形狀和表面處理選項(xiàng),確保高精度、高可靠性和長(zhǎng)壽命,滿足不同客戶需求。立即聯(lián)系我們,獲取高效解決方案!
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1. 產(chǎn)品概述

MPCVD(微波等離子體化學(xué)氣相沉積)鉬基片臺(tái)是一種專為高溫、高壓環(huán)境設(shè)計(jì)的關(guān)鍵部件,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)涂層、金剛石薄膜沉積等領(lǐng)域。鉬基片臺(tái)以其優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、高熔點(diǎn)和良好的機(jī)械性能,成為MPCVD設(shè)備中不可或缺的核心組件。

2. 產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 高熔點(diǎn):鉬的熔點(diǎn)高達(dá)2620°C,適合極端高溫環(huán)境。

  • 優(yōu)異的熱導(dǎo)率:確?;_(tái)表面溫度均勻分布,避免局部過熱。

  • 高機(jī)械強(qiáng)度:在高應(yīng)力條件下保持穩(wěn)定,延長(zhǎng)使用壽命。

  • 耐腐蝕性:在化學(xué)活性氣體中表現(xiàn)出色,適合復(fù)雜工藝環(huán)境。

  • 高純度:采用高純度鉬材料,減少雜質(zhì)污染,提升沉積薄膜質(zhì)量。

  • 定制化設(shè)計(jì):可根據(jù)客戶需求提供不同尺寸、形狀和表面處理的基片臺(tái)。

3. 應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體制造:用于硅片、GaN、SiC等材料的沉積。

  • 光學(xué)涂層:用于增透膜、反射膜等光學(xué)薄膜的制備。

  • 金剛石薄膜沉積:用于工具、模具等表面的金剛石涂層。

  • 科研實(shí)驗(yàn):適用于高溫高壓條件下的材料研究和新工藝開發(fā)。

4. 技術(shù)參數(shù)

  • 材質(zhì):高純度鉬(Mo)

  • 熔點(diǎn):2620°C

  • 熱導(dǎo)率:138 W/m·K

  • 密度:10.2 g/cm3

  • 純度:≥99.95%

  • 尺寸:支持定制(直徑、厚度等)

  • 表面處理:可提供拋光、涂層等定制化處理

5. 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

  • 高性能:在極端條件下保持穩(wěn)定,確保工藝一致性。

  • 長(zhǎng)壽命:耐高溫、耐腐蝕,減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間和維護(hù)成本。

  • 高精度:表面平整度高,確保薄膜沉積均勻性。

  • 定制化服務(wù):根據(jù)客戶需求提供個(gè)性化設(shè)計(jì)和制造服務(wù)。

  • 優(yōu)質(zhì)售后服務(wù):提供全面的技術(shù)支持和維護(hù)服務(wù)。

6. 使用與維護(hù)

  • 安裝:確保基片臺(tái)與設(shè)備匹配,避免機(jī)械應(yīng)力。

  • 清潔:定期清理表面污染物,保持高純度和性能。

  • 檢查:定期檢查磨損和腐蝕情況,及時(shí)更換或維護(hù)。

7. 適用設(shè)備

  • MPCVD設(shè)備

  • 化學(xué)氣相沉積(CVD)設(shè)備

  • 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備

  • 其他高溫薄膜沉積設(shè)備

MPCVD鉬基片臺(tái)憑借其優(yōu)異的性能和可靠性,在半導(dǎo)體、光學(xué)涂層和金剛石薄膜沉積等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。無(wú)論是大規(guī)模生產(chǎn)還是科研實(shí)驗(yàn),鉬基片臺(tái)都能提供高效、穩(wěn)定的支持,是MPCVD設(shè)備中的核心組件。

如需更多信息或定制服務(wù),請(qǐng)聯(lián)系我們的銷售團(tuán)隊(duì)。我們將為您提供專業(yè)的解決方案和優(yōu)質(zhì)的服務(wù)!

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